國立清華大學耗資近7億，於103年在近寶山路南門處設置地上9層、地下1層，樓地板面積達4560坪，內部共有100間的實驗室，於今天落成啟用，當中的防震、抗微振動及防塵皆領先國內各大學實驗室。

 

清華實驗室為地上9層、地下1層建物，位於清華大學、竹科、工研院的樞紐位置。（清大提供）

清華實驗室為地上9層、地下1層建物，位於清華大學、竹科、工研院的樞紐位置。（清大提供）

 

校長賀陳弘指出，清華物理、材料、化學、化工、生醫等領域都將進駐清華實驗室，展開跨領域的研究，「我們可以密切注意跨領域將產生的火花交會。」

 

清華大學研發長曾繁根表示，清華實驗室1樓的奈材中心實驗室，是目前國內學界規格最高的無塵實驗室，潔淨等級達到Class1000，因此，每1立方英呎大於0.5微米的微塵不得超過1000顆，清華師生將可在此進行半導體新興製程的研究、開發、實驗。

 

曾繁根說，除了無塵，清華實驗室的抗微振等級也是國內大學實驗室中最高的。為保護實驗室內貴重的精密儀器不受戶外大貨車、砂石車行駛的振動影響，清華實驗室採高規建築結構設計，在外部有微振發生時，實驗室內設備的每秒振幅小於125微英吋（VC-E等級），晃動幅度小於人類頭髮直徑的20分之1，而實驗室實驗亦為防震建築，可承受7級地震。

 

曾繁根指出，由於實驗室的規格超高，且廢氣處理等管線統一設置，實驗室已吸引許多國際一流的研究單位及設備進駐，目前進駐率超過7成，如荷蘭Mapper微影公司就打算將價值數十億元、亞洲第二台的巨量電子束微影設備設在清華實驗室，開發符合下一世代人工智慧需求的防駭安全晶片，清華大學也因此掌握製造高端晶片的能力。

 

(聯合新聞網)