「總統創新獎」是我國鼓勵「創新」的最高榮譽，」每兩年舉辦一次，表揚在產品、技術、教育或文化等各領域中，對國家經濟、產業、社會與人民具有深遠貢獻者。

林本堅院長曾在美國 IBM 工作 22 年，帶領研發團隊創造出許多領先全球的技術。2000年在台積電力邀下回台，領導研究出改變半導體產業的浸潤式微影技術。

浸潤式微影技術對全球半導體產業及台積電先進製程貢獻極大，讓台積電在 55 奈米之後領先世界成長 6 個技術世代。林本堅院長也被譽為「浸潤式微影之父」、「半導體界愛因斯坦」。

林本堅院長退下台積電副總一職後，2016年起擔任清華大學特聘講座教授，一手創立本校的「半導體研究學院」，要為台灣培養半導體的「活才」，延續我們在全球半導體界的領先地位。

第六屆「總統創新獎」頒獎典禮預定於113年4月24日於總統府辦理，由總統親自頒獎表揚。