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媒體報導

「奈米極紫光」負負得正…秒數的負18次方 半導體再突破
新聞來源:ETNEWS   發佈時間:2017-10-26 14:14:38

2017-10-26 記者 盧映慈 報導

 
「人類活在『秒』的世界,但奈米世界的時間是以『埃秒』(10的負18次方秒)」,清大光電工程所助理教授陳明彰成功創造更亮的奈米極紫外光(EUV),在奈米的「微」電影世界,半導體跟生醫領域的研究又有重大突破,「這就像兩人三腳的遊戲,意外的負負得正」,未來的生活又往前一大步。
 
奈米世界的微小,需要更快、更亮的光源才有辦法看到,但過去10年來一直沒有辦法提升18奈米紫外光的亮度,由於紅外光與極紫外光以不同的相位速度前進,亮度無法累積;「就好像想玩兩人三腳的遊戲,但兩者的步伐大小、速度都不同,不能一起抵達終點,亮度自然無法提升」,陳明彰說,再加上發光設備2、3個操場般大,更難普及應用。
 
3年前,陳明彰跟碩士生孫宏維與博士生黃旆齊一起實驗,發現只要調整光圈大小,就能控制極紫外光的頻寬和中心波長,同時增加空間解析度,加強供給紅外光後,兩個減少極紫外光的舉動,變成「負負得正」的效果,成為美麗的巧合、突破傳統的極限,讓18奈米的光子數增強了4百倍。
 
「要亮度變亮,就要號召光子來參加,但人越多,兩人三腳的遊戲越難玩,光圈就像那個喊口號的人,控制大家的腳步,亮度就穩定提升了」;黃旆齊說,這套光源系統的體積已經縮小到2公尺左右,桌上型光源不是夢,國際半導體大廠近年極欲掌握極紫外光技術,在研發、檢測、製程上能有更大的突破,生醫界也可以此看到更微小的疾病細胞。