2017-10-26 

清華大學光電工程研究所助理教授陳明彰等人組成研究團隊與中、美等國際團隊合作，突破學界10年來的瓶頸，成功創造出體積小卻更亮的極紫外光(EUV)，能看見奈米級的微影世界，將加速半導體及生醫領域的奈米等級研究，這項創新突破日前獲刊在光電指標期刊Optica。

陳明彰指出，過去10年來科學家無法克服「相位錯位」問題，因紅外光與極紫外光以不同的相位速度前進，導致光強度（亮度）無法累積，讓科學家無法有效提升18奈米紫外光的亮度。

陳明彰說，3年前做實驗時，偶然將光圈置放於高次諧波實驗前方，發現只要調整光圈的大小，就可精巧控制極紫外光的頻寬和中心波長，突破了傳統高次諧波的能量極限，讓18奈米的光子數增強了4百倍。

研究團隊成員黃旆齊以兩人三腳解釋，他說，如果要使亮度愈亮，就要號召愈多光子來參加，但人變多了，光子的腳步愈亂，很難大家同步順利抵達終點，但若通過光圈的控制，就像有人呼口號指揮，讓光子們腳步有序，解決了相位錯位問題，亮度就提升了；且這套光源系統的體積縮小至約2公尺左右大小，朝研發出「桌上型極紫外光」的夢想再進一步。

陳明彰表示，國際半導體大廠近年極欲掌握極紫外光技術，在先進製程上再突破，「桌上型極紫外光」光源的應用層面將十分廣泛，包括半導體產業的研發、檢測、製程，生醫界也可以此看到更微小的疾病細胞。