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媒體報導

清大創小體積極紫外光 加速半導體、生醫奈米級研究
新聞來源:蘋果即時   發佈時間:2017-10-27 16:04:19

2017-10-26 

清華大學光電工程研究所助理教授陳明彰等人組成研究團隊與中、美等國際團隊合作,突破學界10年來的瓶頸,成功創造出體積小卻更亮的極紫外光(EUV),能看見奈米級的微影世界,將加速半導體及生醫領域的奈米等級研究,這項創新突破日前獲刊在光電指標期刊Optica。

 

陳明彰指出,過去10年來科學家無法克服「相位錯位」問題,因紅外光與極紫外光以不同的相位速度前進,導致光強度(亮度)無法累積,讓科學家無法有效提升18奈米紫外光的亮度。

 

陳明彰說,3年前做實驗時,偶然將光圈置放於高次諧波實驗前方,發現只要調整光圈的大小,就可精巧控制極紫外光的頻寬和中心波長,突破了傳統高次諧波的能量極限,讓18奈米的光子數增強了4百倍。

 

研究團隊成員黃旆齊以兩人三腳解釋,他說,如果要使亮度愈亮,就要號召愈多光子來參加,但人變多了,光子的腳步愈亂,很難大家同步順利抵達終點,但若通過光圈的控制,就像有人呼口號指揮,讓光子們腳步有序,解決了相位錯位問題,亮度就提升了;且這套光源系統的體積縮小至約2公尺左右大小,朝研發出「桌上型極紫外光」的夢想再進一步。

 

陳明彰表示,國際半導體大廠近年極欲掌握極紫外光技術,在先進製程上再突破,「桌上型極紫外光」光源的應用層面將十分廣泛,包括半導體產業的研發、檢測、製程,生醫界也可以此看到更微小的疾病細胞。